摘要 CBN的合成通常有兩種方式:低壓氣相沉積法和高溫高壓合成法(靜態高壓觸媒法和動態沖擊法)。前者主要用于薄膜生長,后者則用于CBN晶體生長,自1957年以來其合成已經發展得十分成熟。
CBN的合(he)成(cheng)通常有(you)兩種方式(shi):低壓(ya)(ya)氣相沉(chen)積法(fa)(fa)(fa)和高溫(wen)高壓(ya)(ya)合(he)成(cheng)法(fa)(fa)(fa)(靜態(tai)(tai)高壓(ya)(ya)觸媒(mei)法(fa)(fa)(fa)和動態(tai)(tai)沖擊法(fa)(fa)(fa))。前者主要用于薄膜生長(chang),后者則用于CBN晶體生長(chang),自1957 年以來其合(he)成(cheng)已經(jing)發展(zhan)得(de)十分(fen)成(cheng)熟(shu)。