寧波晶鉆科技股份有限公司(晶鉆科技)的CVD單晶金剛石尺寸達到60毫米×60毫米(3.35英寸),不僅刷新了該企業的紀錄,而且也刷新了全球人造單晶金剛石的紀錄。
據(ju)悉,微波等離子體(ti)化學氣相沉積(MPCVD)作為(wei)行業公認(ren)的制備大尺(chi)(chi)寸、高(gao)品(pin)質(zhi)(zhi)單晶(jing)金剛(gang)石的最佳手(shou)段之一,目前主要有(you)同(tong)質(zhi)(zhi)外延(yan)(yan)、異質(zhi)(zhi)外延(yan)(yan)兩種技術路(lu)線。同(tong)質(zhi)(zhi)外延(yan)(yan)技術的優勢在于其晶(jing)體(ti)質(zhi)(zhi)量(liang)高(gao),但技術也(ye)極(ji)具挑戰性(xing)。在產(chan)品(pin)尺(chi)(chi)寸不斷(duan)突破(po)的同(tong)時,該企業的生(sheng)產(chan)設(she)備已(yi)擴充至(zhi)1500臺。這意味著(zhu),晶(jing)鉆科技的大尺(chi)(chi)寸、高(gao)品(pin)質(zhi)(zhi)CVD單晶(jing)金剛(gang)石年產(chan)能(neng)(neng)已(yi)達200萬克拉,約占全(quan)球總(zong)產(chan)能(neng)(neng)的18%,產(chan)能(neng)(neng)全(quan)球第一。
晶鉆科技主營業務包括CVD金剛石大單晶(培育鉆石)、超精密單晶金剛石刀具、金剛石復合高導熱材料及器件、金剛石表面納米改性、金剛石磨具(金剛石鋸片、金剛石砂輪、金(jin)剛石(shi)繩鋸等)、超(chao)真空CVD設(she)備(bei),超(chao)精3D激光雕塑設(she)備(bei)、納米超(chao)精金(jin)剛石(shi)刀具(ju)研磨(mo)設(she)備(bei)等。自2014年(nian)制(zhi)備(bei)出第一(yi)顆CVD單(dan)晶金(jin)剛石(shi)以來,歷(li)經10余次(ci)技(ji)術迭代,已量產2英寸CVD單(dan)晶金(jin)剛石(shi)。2023年(nian)底,晶鉆(zhan)科技(ji)成功制(zhi)備(bei)出3英寸CVD單(dan)晶金(jin)剛石(shi),目前已批量化生產。隨著(zhu)晶鉆(zhan)科技(ji)產品的再次(ci)升級,該(gai)企業(ye)向4英寸以上的單(dan)晶金(jin)剛石(shi)制(zhi)備(bei)發(fa)起沖(chong)刺。